科益虹源的名字并不为产业外的人熟悉，该公司的控股股东是中科院微电子所，持股26．6％，主要业务就是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统，是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。 根据之前的《徐州经开区科益虹源集成电路光刻制造及服务基地