科益虹源的名字并不为产业外的人熟悉，该公司的控股股东是中科院微电子所，持股26．6％，主要业务就是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统，是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。

 

根据之前的《徐州经开区科益虹源集成电路光刻制造及服务基地项目开工》文章报道，2018年科益虹源自主设计开发的国内首台高能准分子激光器出货，打破了国外厂商的长期垄断。

 

该公司秉承“光电改变生活”的使命，致力于打造准分子激光领域自主创新型企业，成为国际上受人尊敬的专业光电技术解决方案提供商。

 

2020年4月份，科益虹源集成电路光刻光源制造及服务基地项目开工建设。

 

该项目由北京科益虹源光电技术有限公司投资建设，总投资5亿元，建筑面积1.2万平方米，年产RS222型光刻准分子激光器、光刻用准分子激光器、405光纤耦合头等各类设备30台（套）。

 

哈勃科技投资有限公司成立于2019年，法定代表人为白熠，注册资本为270000万元人民币，一般经营项目是创业投资业务。企查查信息显示，哈勃科技所属集团为华为，由华为投资控股有限公司100％持股。

 

企查查信息显示，自成立以来，哈勃投资公司已经入股近30家公司，主要是半导体材料、装备等关键市场，投资领域涵盖模拟芯片、碳化硅材料、功率芯片、人工智能芯片、车载通讯芯片、连接器等当下半导体产业热门产品线领域。